高純水是將普通的市政用水處理成對(duì)不同離子的含量和顆粒度都有很高要求的超純水。在半導(dǎo)體制作過程中，50%以上的工序中硅片與超純水直接接觸，80%以上的工序需要進(jìn)行化學(xué)處理，而化學(xué)處理又與超純水有關(guān)。如果水中的雜質(zhì)進(jìn)入硅片，就會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體器件性能，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量。因此，制備和使用高品質(zhì)的超純水已成為發(fā)展大規(guī)模集成電路的重要前提技術(shù)。
眾所周知，超純水管道系統(tǒng)在使用過程中，由于離子的聚集和雜質(zhì)的粘著會(huì)對(duì)管道造成污染，從而影響硅片的質(zhì)量。因此，半導(dǎo)體企業(yè)需要定期對(duì)超純水管道進(jìn)行清洗和消毒，以使水質(zhì)達(dá)到工藝使用要求。但由于半導(dǎo)體企業(yè)生產(chǎn)任務(wù)緊以及專業(yè)方向的差異，企業(yè)自身很難投入精力進(jìn)行超純水管道的清洗和維護(hù)工作。目前各企業(yè)普遍采用“技術(shù)外包”的方式對(duì)超純水管道進(jìn)行清洗和保養(yǎng)處理。
基于上述現(xiàn)狀，陜西博泰達(dá)技術(shù)人員經(jīng)過相關(guān)半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)和水質(zhì)處理企業(yè)的現(xiàn)狀的現(xiàn)場(chǎng)實(shí)踐合同行業(yè)的經(jīng)驗(yàn)，研究出一套專業(yè)針對(duì)半導(dǎo)體企業(yè)用超純水管道清洗方案。
一、 成果的主要內(nèi)容
采用化學(xué)清洗法對(duì)半導(dǎo)體企業(yè)用超純水管道進(jìn)行處理，使其達(dá)到工業(yè)生產(chǎn)需求。
（1）水力清洗
用大量的水盡可能沖掉系統(tǒng)中的灰塵、泥沙。為了達(dá)到好的沖洗效果，需注意沖洗方式和水速的控制；
（2）藥液循環(huán)清洗
選擇合適的化學(xué)藥液清洗純水管道，其目的是殺死管道內(nèi)附著的微生物及生物粘泥；
（3）水力循環(huán)沖洗
用反滲透處理水反復(fù)沖洗超純水管道，其目的是沖洗掉管內(nèi)殘留的化學(xué)藥液；
（4）采樣檢查
水力循環(huán)沖洗后采集水樣，用化學(xué)分析方法檢測(cè)水中是否含有殘留藥液及水質(zhì)是否達(dá)標(biāo)；
（5）復(fù)位檢查
采樣檢查符合水質(zhì)要求后，即可將系統(tǒng)復(fù)位至正常狀態(tài)，以備交付使用。
“半導(dǎo)體企業(yè)用超純水管道清洗方案”項(xiàng)目不斷的論證、試驗(yàn)、實(shí)施和改進(jìn)，取得了一定的成效。該項(xiàng)目的實(shí)施有利于降低企業(yè)對(duì)生產(chǎn)成本的投入和產(chǎn)品的出廠價(jià)格，在一定程度上提高了產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力。
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