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電子超純水設備應用范圍及工藝流程

  半導體、電子行業(yè)是目前世界上水質要求最高的。超純水制造技術的發(fā)展極大地推動了半導體和電子工業(yè)的技術進度。同時半導體、電子工業(yè)的迅速發(fā)展促進了超純水制造技術裝備的發(fā)展。

   (RO)反滲透 + (EDI)電去離子工藝

    產(chǎn)水符合電子工業(yè)用水 (水質符合美國ASTM標準,電子部超純水水質標準(18MΩ*cm,15MΩ*cm,12MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)。

 

    博泰達電子超純水設備應用范圍

   半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質技術分為五個行業(yè)等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質。

   電子工業(yè)制備超純水的工藝大致分成以下幾種:

   (1)采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業(yè)超純水的方式,其基本工藝流程為:原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

  (2)采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制備電子工業(yè)超純水的的方式,這是一種制取超純水的最新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟,發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?,其基本工藝流程為:原?rarr;多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

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